基本信息
| 标准名称： | 微机电系统（MEMS）技术 术语 |
| 英文名称： | Micro-electromechanical system technology—Terms |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术 >>
微电路 >>
微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学 >>
集成电路、微电子学
|
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2011-01-10 |
| 实施日期： | 2011-10-01 |
| 首发日期： | 2011-01-10 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 提出单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： | 中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通大学、中北大学 |
| 起草人： | 丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2011-10-01 |
| 页数： | 40页 |
适用范围
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本 标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
前言
没有内容
目录
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
3.1 综合性术语 1
3.2 科学与工程术语 2
3.3 与材料相关的术语 3
3.4 与设计相关的术语 4
3.5 与加工工艺相关的术语 7
3.6 封装与组装术语 10
3.7 测量技术术语 13
3.8 与器件相关的术语 15
参考文献 22
索引 23
汉语拼音索引 23
英文对应词索引 27
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T2900.66—2004 电工术语 半导体器件和集成电路(IEC60050-521:2002,IDT)
所属分类： 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学
Product Code:SAE AMS5707
Title:Nickel Alloy, Corrosion and Heat-Resistant, Bars, Forgings, and Rings, 58Ni - 19.5Cr - 13.5Co - 4.3Mo - 3.0Ti - 1.4Al - 0.05Zr - 0.006B, Consumable Electrode Remelted or Vacuum Induction Melted, 1825 to 1900 °F (996 to 1038 °C) Solution, Stabilization, and Precipitation Heat Treated
Issuing Committee:Ams F Corrosion Heat Resistant Alloys Committee
Scope:This specification covers a corrosion and heat-resistant nickel alloy in the form of bars, forgings, flash welded rings, and stock for forging or flash welded rings.